Le procédé de pulvérisation cathodique consiste à vaporiser un matériau source, appelé cible, afin de déposer un film mince et performant sur des produits tels que les semi-conducteurs, le verre et les écrans. La composition de la cible détermine directement les propriétés du revêtement, ce qui rend le choix du matériau crucial.
On utilise une large gamme de métaux, chacun étant sélectionné pour ses avantages fonctionnels spécifiques :
Métaux de base pour l'électronique et les couches intermédiaires
Le cuivre de haute pureté est prisé pour son exceptionnelle conductivité électrique. Un taux de pureté de 99,9995 % est indispensable à la fabrication des interconnexions microscopiques au sein des microprocesseurs de pointe, où une résistance électrique minimale est primordiale pour garantir rapidité et efficacité.
Le nickel de haute pureté est un matériau polyvalent et essentiel. Il est principalement utilisé comme excellente couche d'adhérence et barrière de diffusion fiable, empêchant le mélange de différents matériaux et assurant l'intégrité structurelle et la longévité des dispositifs multicouches.
Les métaux réfractaires comme le tungstène (W) et le molybdène (Mo) sont appréciés pour leur haute résistance à la chaleur et leur stabilité, souvent utilisés comme barrières de diffusion robustes et pour les contacts dans des environnements exigeants.
Métaux fonctionnels spécialisés
L'argent de haute pureté offre la conductivité électrique et thermique la plus élevée de tous les métaux. Il est donc idéal pour le dépôt d'électrodes transparentes et hautement conductrices dans les écrans tactiles et de revêtements à faible émissivité et à réflexion exceptionnelle sur les fenêtres à économie d'énergie.
Les métaux précieux tels que l'or (Au) et le platine (Pt) sont utilisés pour des contacts électriques très fiables et résistants à la corrosion, ainsi que dans des capteurs spécialisés.
Les métaux de transition comme le titane (Ti) et le tantale (Ta) sont essentiels pour leurs excellentes propriétés d'adhérence et de barrière, formant souvent la couche de base sur un substrat avant que d'autres matériaux ne soient appliqués.
Bien que cette gamme diversifiée de matériaux permette le développement des technologies modernes, les performances du cuivre (conductivité), du nickel (fiabilité) et de l'argent (réflectivité supérieure) restent inégalées dans leurs applications respectives. La qualité constante de ces métaux de haute pureté est essentielle à la réalisation de revêtements en couches minces haute performance.
Date de publication : 24 novembre 2025
